Nicht-Silizium-Materialien der Mikrosystemtechnik

Der Kurs behandelt die physikalischen Eigenschaften der wichtigsten Polymere, Metalle sowie Keramiken, die für die Mikrosystemtechnologien von besonderer Relevanz sind, sowie verschiedene Formgebungs- und Replikationsmethoden wie Galvanisierung und Spritzgiessen.

Course Objectives

In Zusammenarbeit mit der EMPA.
Die üblichen FSRM-Rabatte werden für diesen Kurs nicht gewährt.

Polymere, Metalle und technische Keramiken gewinnen neben Silikon und gängigen Halbleitern mehr und mehr Bedeutung bei der Realisierung neuer Mikrokomponenten und Mikrosysteme.

Diese Materialklassen bieten auf Grund ihrer vielfältigen physikalischen Eigenschaften neue Anwendungsmöglichkeiten, u.a. in rauen Umgebungsbedingungen, wie hohen Temperaturen oder aggressiven Flüssigkeiten.

Der Kurs behandelt die physikalischen Eigenschaften der wichtigsten Polymere, Metalle sowie Keramiken, die für die Mikrosystemtechnologien von besonderer Relevanz sind.

Zusätzlich werden verschiedene Formgebungs- und Replikationsmethoden wie Galvanisierung und Spritzgiessen vorgestellt, ebenso verwandte und etablierte Techniken wie Pulver-Spritzgiessen und Foliengiessen.

Zahlreiche Beispiele aus den Bereichen Mikrooptik, Mikrofluidik, Mikroreaktionstechnologie u.a. veranschaulichen das Anwendungspotenzial der Nicht-Silizium-Materialien in der Mikrosystemtechnik.

Target group

Der Kurs richtet sich an technische Führungskräfte, F&E-Ingenieure und Produktionsspezialisten, die neuen Herausforderungen in der Produktentwicklung und bei Fertigungstechnologien gegenüberstehen.

Content

Allgemeine Materialaspekte
Polymere: Eigenschaften und Replikationsmethoden, Anwendungen
Metalle: Eigenschaften, Mikrostrukturierung, Anwendungen
Technische Keramik: Eigenschaften, Formgebungsverfahren und Mikrostrukturierung, Anwendungen
Mikro-Pulver-Spritzgussverfahren als Prozesskette zur Massenherstellung von mikrostrukturierten Metall- und Keramikkomponenten